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外延设备
外延设备
测试设备
工艺走廊
LPE2061s
* 优良的外延质量。
* 生产效率高
* 生产成本(COO)较低。
* 很好的生产柔性,非常适合大批量,多品种的生产。
* 适合厚层外延,适用于IGBT, VDMOS等器件。
* 设备操作简单,维护方便。
LPE3061
* 更为优良的外延质量。
* 生产成本(COO)远低于单片外延炉。
* 很好的生产柔性,非常适合小批量,多品种的生产。
* 适合厚层外延,适用于IGBT,传感器,PowerMOS等器件。
* 同时也适合用于IC、掩埋层等薄层外延。
* 设备操作简单,易于维护。
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