序号

特征

参数

测试方法

1

外延层掺杂剂

P：Boron
N：Phosphorus

2

外延层晶向

<100>，<111>

3

外延层电阻率

P，N：0.01—100Ω·cm

ASTM F723

4

外延层电阻率径向偏差

≤±5%

For 4"、5"、6"

5

外延层厚度

1 to 150 Micrometer

ASTM F95、F110

6

外延层厚度径向偏差

≤±5%

For 4"、5"、6"

7

堆垛层错密度性

10/cm2

ASTM F1810

8

滑移线

5条，总长度不超过圆片半径

ASTM F1725

9

雾、划伤、崩边、异物

NONE

ASTM F523

10

凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪

NONE

ASTM F523

11

冠状边缘

表面上凸起物高度不超过1/4外延层厚度

To be defined

12

背面沾污

NONE

ASTM F523

13

点缺陷

SEMI标准

ASTM